Fluss tal-proċess tal-inċiżjoni

1. Tindif tal-bażi

Tindif ultrasoniku, trattament ta 'soluzzjoni aċidu / alkali (bħal tindif RCA), tindif fil-plażma u metodi oħra jintużaw biex jitneħħew sustanzi li jniġġsu fil-wiċċ (żejt, partiċelli, saff ta' ossidu).

2. Kisi fotoreżist

Dawwar il-kisi biex tifforma saff fotoreżist uniformi, taħmi minn qabel biex tneħħi s-solventi, u ssaħħaħ l-adeżjoni.

3. Esponiment u Żvilupp

Esponiment: Uża maskra biex tirradja b'dawl ultravjola, dawl ultravjola profond, jew dawl ultravjola estrem biex jikkaġuna reazzjoni fotokimika fil-fotoreżisista.

Żvilupp: Ħoll iż-żona esposta (ġel pożittiv) jew żona mhux esposta (ġel negattiv) b'soluzzjoni li qed tiżviluppa biex tesponi ż-żona li tkun inċiża.

4. Inċiżjoni

Inċiżjoni mxarrba: Għaddas is-sottostrat f'soluzzjoni ta 'inċiżjoni jew ittrattaha billi tispara.

Inċiżjoni niexfa: Gass reattiv (bħal Cl ₂, CF ₄) huwa introdott f'kamra tal-vakwu biex teċita l-plażma għall-inċiżjoni.

5. Neħħi t-tqaxxir tal-fotoreżisti

Ġelatinizzazzjoni mxarrba: Uża solventi bħal aċetun, N-methylpyrrolidone (NMP), jew aċidi / ossidanti qawwija (bħal H ₂ SO ₄ SO ₄ + H ₂ O O ₂).

Ġelatinizzazzjoni niexfa: ossiġnu fil-plażma b'attenzjoni, effiċjenti u mingħajr residwi.

6. Wara l-ipproċessar u l-ispezzjoni

Tindif: Neħħi prodotti sekondarji tal-inċiżjoni u reaġenti residwi.

Sejbien: Analizza l-morfoloġija tagħha, kejjel id-daqs tagħha, u wettaq ittestjar elettriku permezz ta 'skanjar tal-mikroskopju.