Il-proċess ta 'inċiżjoni tal-metall

Wieħed mill-passi ewlenin fil-manifattura taċ-ċirkwiti integrati huwa li jitneħħa s-saff irqiq tal-film mhux kopert mir-reżistenza u jikseb disinn fuq il-film irqiq li huwa kompletament konsistenti mal-film Resist .
Fil-proċess tal-manifattura ta 'ċirkwiti integrati, serje ta' operazzjonijiet fini bħall-allinjament tal-maskra, l-esponiment, u l-iżvilupp huma l-ewwel meħtieġa biex jirreplikaw b'mod preċiż il-mudell mixtieq fuq il-film Resist . Barra minn hekk, travi elettroniċi bi preċiżjoni għolja jistgħu jintużaw direttament biex jiġbdu l-mudell mixtieq fuq il-film li jirreżisti .
Wara li jitlesta dan il-pass, il-mudell jiġi trasferit immedjatament għall-film irqiq dielettriku (bħal ossidu tas-silikon, nitride tas-silikon, silikon polikristallin) jew film irqiq tal-metall (bħalma huma l-aluminju u l-ligi tiegħu) taħt ir-reżistenza bi preċiżjoni estremament għolja, u b'hekk toħloq mudell ta 'saff irqiq fuq is-saff irqiq li huwa kompletament konsistenti mal-ħtiġijiet tad-disinn {}}}}}}}}}}}}}}

Il-proċess ta 'inċiżjoni għandu rwol kruċjali f'dan il-proċess, li jneħħi b'mod selettiv is-saff tal-film irqiq mhux protett permezz ta' kimika, fiżiku, jew kombinazzjoni taż-żewġ metodi, li jifforma disinn fuq il-film irqiq li huwa identiku għal dak fuq il-film jirreżisti {.Il-qalba tat-teknoloġija tal-inċiżjoni tinsab fis-selettività tagħha, jiġifieri, tneħħi biss il-partijiet mhux koperti mir-reżistenza waqt li jżommu l-partijiet protetti mir-reżistenza .
It-teknoloġija tal-inċiżjoni hija prinċipalment maqsuma f'żewġ tipi: inċiżjoni niexfa u inċiżjoni mxarrba .Inċiżjoni niexfa tuża prinċipalment gassijiet reattivi u plażma għall-inċiżjoni, filwaqt li l-inċiżjoni mxarrba tilħaq prinċipalment inċiżjoni permezz ta 'reazzjonijiet kimiċi bejn ir-reaġenti kimiċi u l-materjal li jkun inċiż, ġeneralment f'ambjent likwidu, billi juża soluzzjonijiet kimiċi biex jinħall b'mod selettiv materjali rqaq tal-film .
Dawn iż-żewġ metodi ta 'inċiżjoni kull wieħed għandhom il-vantaġġi u l-iżvantaġġi tagħhom stess . F'applikazzjonijiet prattiċi, huma għandhom jintgħażlu u jiġu ottimizzati skond il-ħtiġijiet speċifiċi biex jiżguraw li l-mudell finali ta' saff irqiq miksub jissodisfa r-rekwiżiti tad-disinn .