Karatteristiċi ta 'proċess ta' inċiżjoni ideali

Il-proċess ta 'inċiżjoni ideali għandu jkollu l-karatteristiċi ewlenin li ġejjin biex jissodisfaw ir-rekwiżiti ta' preċiżjoni għolja tal-manifattura tas-semikondutturi u oqsma oħra ta 'proċessar ta' mikro nano:

① Inċiżjoni anisotropiċi, li tfisser biss inċiżjoni vertikali mingħajr tħaffir laterali. B'dan il-mod biss nistgħu niżguraw ir-replikazzjoni preċiża ta 'forom ġeometriċi identiċi għal dawk li jirreżistu fuq il-film inċiż;
② Selettività tajba għall-inċiżjoni tfisser li r-rata ta 'inċiżjoni tar-reżistenza użata bħala maskra u l-film irqiq jew materjal sottostanti hija ħafna inqas minn dik tal-film irqiq inċiż, biex tiżgura l-effikaċja tar-reżistenza għall-masking waqt il-proċess ta' inċiżjoni u tipprevjeni ħsara lil materjali oħra taħt il-film irqiq minħabba l-film irqiq minħabba l-inċiżjoni;
③ Lott kbir ta 'proċessar, kontroll faċli, prezz baxx, tniġġis ambjentali minimu, adattat għall-produzzjoni industrijali.